試料を真空に入れる、X線や電子線を照射する。大量に電子を取り出す・・・
それは、デリケートな表面を破壊する分析手法。
大気中で、表面に微弱な紫外線を照射し、極微量の光電子を取り出す・・・
ACシリーズは、光電子を一つひとつ計数する超高感度の「優しい表面分析装置」。
紫外線のエネルギーと光電子数との関係から物質の表面状態を調べることができるのです。
大型・多数サンプル測定可能
特長 (※)はオプション
平板型オープンカウンター採用で最大4000cpsの光電子を計数可能
最大180×180mmの大型サンプル装着可能
スポット指定測定で任意の場所を測定可能
サンプルチェンジャー（※）で板状・粉状のサンプルを25個まで自動測定可能
Xe（キセノン）ランプ（※）の使用で、電子が出にくい物質も高感度測定可能
大気中で最大7.0eVまで測定可能
特長
窒素置換型特殊光学系を搭載し、大気中で7.0eVまで測定可能
（6.2eV以上のエネルギーを持つ紫外線は酸素に吸収されます。
前身モデルであるAC-2においては、その測定エネルギー範囲は大気中を透過できる6.2eVまでに限定されていました。）
大気中でフェルミ準位測定可能（ACシリーズオプション）
特長
平板試料専用のケルビンプローブ
電極・サンプル間距離の微調整が不要で
サンプルのセットが容易
半導体サンプルのフェルミ準位を大気中で測定可
測定が短時間のため、成膜・表面処理直後の金属表面
の変化など、経時的な測定に最適
