熱分解ユニット
GD-81Dシリーズ
PLU-80
特長
※本器はGD-81Dと組合わせて使用する製品になります。
・GD-81Dと組み合わせることでNF3、TEOS等が検知可能
・従来器PLU-70と同サイズ設計なので、設置スペースを
気にせず導入できます
検知方式 |
吸引式/シングルタイプ |
検知原理 |
定電位電解式, 熱粒子化式 |
検知範囲 |
検知対象ガスによる (GD-81D搭載センサによる) |
防爆の種類 |
非防爆構造 |
CEマーキング |
EMC指令、RoHS指令 |
電源 |
DC24 V±10 % |
外形寸法 |
約70(W)×120(H)×145(D) mm (突起部は除く) |
質量 |
約0.9 kg |
使用温度範囲 |
0～40 ℃ (急変なきこと) |
使用湿度範囲 |
30～80 %RH (結露なきこと) |
検知対象ガス
COS, DEMS, DMDMOS, HMDS, HMDSO, NF3, OMCTS, QMS, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS