熱分解ユニット
PLU-70
特長
※本器はGD-70Dと組合わせて使用する製品になります。
・NF3、TEOS等がGD-70Dとの組み合わせで検知可能
・GD-70Dシリーズと同サイズ設計
・リユース可能な部品を採用
・構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
・各種国際規格に対応
・CEマーキングに適合
検知方式 |
吸引式/シングルタイプ |
検知原理 |
定電位電解式, 熱粒子化式 |
検知範囲 |
検知対象ガスによる（GD-70D仕様による） |
防爆の種類 |
非防爆構造 |
CEマーキング |
EMC指令、RoHS指令 |
電源 |
DC24V±10% |
外形寸法 |
約70(W)×120(H)×145(D)mm （突起部は除く） |
質量 |
約0.9kg |
使用温度範囲 |
0～40℃（急変なきこと） |
使用湿度範囲 |
30～80%RH（結露なきこと） |
検知対象ガス
COS, DEMS, DMDMOS, HMDS, HMDSO, NF3, OMCTS, QMS, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS