デバイス開発に最適
AC-2S Pro β
特長
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400μm角の微細スポット
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膜厚測定
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100℃までの高温測定
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新型照射光学系(LDLSランプ)搭載
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0.01eVステップでの精密測定
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要望が多い多点測定、繰り返し測定機能搭載
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AC-2,3,5のデータの読み込み後、解析可能
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平板型オープンカウンター採用で最大4000cpsの光電子を計数可能
用途
・
電池部材の汚染度・表面特性の測定
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微小部品の汚染度・表面特性の測定
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ハードディスクや磁気テープのトライボロジーの研究
・
半導体やリードフレームの表面酸化状態の測定
・
精密電子材料における分子レベルの膜状汚染の検出
製品カテゴリ |
大気中光電子収量分光装置 |
型式 |
AC-2S Pro β |
測定原理 |
大気中光電子収量分光装置(検出部:低エネルギー光電子計数法) |
光電子検知器 |
平板型オープンカウンター |
紫外線エネルギー範囲 |
3.4~6.2 eV(364~200nm) |
最小光量 |
1.0 nW以下(at 5.9eV) |
最大光量 |
200.0 nW以上(at 5.9eV) |
繰り返し精度(標準偏差) |
仕事関数0.02 eV(試料:金板) |
紫外線光源 |
レーザー励起プラズマ光源(LDLS ) |
紫外線スポットサイズ |
~0.4 mm角(集光レンズの色収差でエネルギーにより異なる) |
光電子最大計数率 |
4000 cps |
分光器 |
グレーティング式モノクロメーター |
最大試料サイズ |
面積50×50 mm以下、厚さ10 mm以下 |
温湿度範囲 |
温度範囲15~35℃(急変なきこと)、60%RH以下(結露なきこと)露点-30℃以上 |
電源 |
本体:AC100 V-240 V50/60 Hz5 A(MAX) |
外形寸法 |
LC(光源部)※ :約623(W)×450(D)×317(H) mm |
重量 |
AC-2S LC(光源部):約30 kg、AC-2S DC(測定部):約31 kg |