デバイス開発に最適

AC-2S Pro β

特長

400μm角の微細スポット

膜厚測定

100℃までの高温測定

新型照射光学系(LDLSランプ)搭載

0.01eVステップでの精密測定

要望が多い多点測定、繰り返し測定機能搭載

AC-2,3,5のデータの読み込み後、解析可能

平板型オープンカウンター採用で最大4000cpsの光電子を計数可能


用途

電池部材の汚染度・表面特性の測定

微小部品の汚染度・表面特性の測定

ハードディスクや磁気テープのトライボロジーの研究

半導体やリードフレームの表面酸化状態の測定

精密電子材料における分子レベルの膜状汚染の検出


製品カテゴリ

大気中光電子収量分光装置

型式

AC-2S Pro β

測定原理

大気中光電子収量分光装置(検出部:低エネルギー光電子計数法)

光電子検知器​

平板型オープンカウンター​

紫外線エネルギー範囲​

3.4~6.2 eV(364~200nm)​

最小光量​

1.0 nW以下(at 5.9eV)​

最大光量​

200.0 nW以上(at 5.9eV)​

繰り返し精度(標準偏差)​

仕事関数0.02 eV(試料:金板)​

紫外線光源​

レーザー励起プラズマ光源(LDLS )

紫外線スポットサイズ​

~0.4 mm角(集光レンズの色収差でエネルギーにより異なる)​

光電子最大計数率​

4000 cps​

分光器​

グレーティング式モノクロメーター​

最大試料サイズ​

面積50×50 mm以下、厚さ10 mm以下​

温湿度範囲​

温度範囲15~35℃(急変なきこと)、60%RH以下(結露なきこと)露点-30℃以上​

電源​

本体:AC100 V-240 V50/60 Hz5 A(MAX)
LDLS(ACアダプタ):AC100V-240V50-60Hz 2.5A
LDLS(本体):DC12V 120W
温度調節器:AC100V(±10%)50/60Hz 1A(MAX)
(制御用パソコンを除く)

外形寸法

LC(光源部)※ :約623(W)×450(D)×317(H) mm
DC(測定部) :約465(W)×450(D)×360(H) mm
温度調節器 :約200(W)×150(D)×280(H) mm
※LDLS電源はLC(光源部)に含まれます。

重量​

AC-2S LC(光源部):約30 kg、AC-2S DC(測定部):約31 kg
温度調節器:約5 kg (制御用パソコンを除く)

カタログ
マニュアル