熱分解ユニット

PLU-70

特長

※本器はGD-70Dと組合わせて使用する製品になります。
・NF3、TEOS等がGD-70Dとの組み合わせで検知可能
・GD-70Dシリーズと同サイズ設計
・リユース可能な部品を採用
・構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
・各種国際規格に対応
・CEマーキングに適合

PLU-70(+GD-70D)

検知方式

その他

検知原理

定電位電解式, 熱粒子化式

検知範囲

検知対象ガスによる(GD-70D仕様による)

防爆の種類

非防爆構造

CEマーキング

EMC指令、RoHS指令

電源

DC24V±10%

外形寸法

約70(W)×120(H)×145(D)mm (突起部は除く)

質量

約0.9kg

使用温度範囲

0~40℃(急変なきこと)

使用湿度範囲

30~80%RH(結露なきこと)

検知対象ガス
COS, DEMS, DMDMOS, HMDS, HMDSO, NF3, OMCTS, QMS, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS
カタログ
マニュアル
仕様書
外形図
認証書
CE