ACシリーズ
活用事例

様々な研究分野で活用されるAC シリーズの測定実例をご紹介します。
未来を創る皆様の研究にも、ぜひ、お役立てください。

リードフレームの酸化度測定

リードフレームの表面に酸化皮膜があると、ボンディング工程で不良が発生します。この為、酸などで酸化膜を化学的に除去した後、さらに、危険な還元炉(水素ガスが充満した炉)で酸化膜を還元します。
半導体後工程では、ACシリーズを用いて、酸化皮膜厚を定量化し、還元炉酸洗浄の効率化を研究しています。

Fig.1 ICの構造


Fig.2 チップボンディングの工程


 

リードフレームにチップをボンディングする際、リードフレームやボンディングワイヤーの表面が酸化していると不良が発生します。このとき、ACを使って表面酸化度合い調べて良品と不良品を選別し、歩留まりを向上させることができます。

Fig.3 リードフレームの測定結果


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